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真空泵的分類包括以下幾種類型:
變容真空泵:利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣,包括往復式、旋轉式(旋片式、滑閥式、液環(huán)式、羅茨式、螺旋式、爪形轉子式)。
動量傳輸泵(分子真空泵):依靠高速旋轉的葉片或高速射流,將動量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇?/span>
壓縮泵:通過一個或多個壓縮級將空氣粒子從被抽容器中抽出,然后排放到大氣中。
冷凝和吸氣泵:用于讓被抽的氣體粒子凝結到固體表面或以其他方式束縛到固體表面上。